【特許権:審決取消請求事件(行政訴訟)/知財高裁/平24・12・20/平24(行ケ)10117】原告:(株)東京精密/被告:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

裁判所の判断(by Bot):
ア上記(1)認定の事実によれば,本件訂正前の特許請求の範囲の請求項1,40,42ないし44,46,48,49,51には,「パッドに形成されたプラグ」との記載はあるが,パッドとプラグが「ほぼ共面」であるか否かについての記載はない。そこで,本件明細書の記載をみると,上記(1)認定の事実から,本件明細書には,「プラーテンホール30」に「クオーツインサート38」を設けた構成を有する具体例が示され(図3(a)),レーザービームのためのウィンドウを「クオーツインサート38」で構成した場合,クオーツインサートの上面とウエハの表面との間のギャップを最小にすることで,このギャップに捉えられるスラリの量を最小にすることができるが,CMPプロセス中はいつでもクオーツインサートがウエハに接しないことを確保するべきであること(【0027】)が記載されていると認められる。また,本件明細書には,「ウエ\xA1
ハ14」と「プラーテン16」の底部との間に「パッド18」の「ポリウレタンカバー層22」だけが残った構成を有する具体例も示されており(図3(b)),クオーツインサートを用いずに,パッドのポリウレタンカバー層の一部がウィンドウとして機能する構成とした場合には,検出できる大きさのギャップは存在せず,レーザービームの有害な散乱を生じさせるスラリが殆ど存在しない利点があるが,ポリウレタンカバー層に用いられるポリウレタン材料が透過性を阻害する添加物を有しているとの問題点があること(【0028】,【0029】),この問題点を排除するため,別の具体例は,「プラーテンホール30」の上の領域におけるパッド材料を「中実な(ソリッドな)ポリウレタンプラグ42」に置き換えたものであり,「中実な(ソリッドな)ポリウレタンプラグ42」の上面が「パッド18」における「カバー層22」の表面とほぼ同一平面上に(以下略)
http://www.courts.go.jp/hanrei/pdf/20121226111729.pdf



<裁判所ウェブサイト>
掲載ページ
<検索>
事件番号・事件名・当事者名をキーワードにしてgoogleで検索する